在科技飛速發(fā)展的當(dāng)下，半導(dǎo)體作為現(xiàn)代電子產(chǎn)業(yè)的基石，重要性不言而喻。然而，半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的工業(yè)廢氣，給環(huán)境帶來(lái)了不小的挑戰(zhàn)。接下來(lái)，讓我們跟隨天得一小編深入了解半導(dǎo)體行業(yè)主要的工業(yè)廢氣類(lèi)型及其治理方式。
酸堿廢氣治理：在半導(dǎo)體制造的清洗、蝕刻等環(huán)節(jié)，酸性與堿性廢氣相伴而生。酸性廢氣包含硫酸霧、氫氟酸、鹽酸等強(qiáng)腐蝕性氣體，堿性廢氣則以氨氣最為常見(jiàn)。這些廢氣若未經(jīng)處理直接排放，不僅會(huì)損壞生產(chǎn)設(shè)備，危害人體健康，還會(huì)對(duì)大氣環(huán)境產(chǎn)生負(fù)面影響，如引發(fā)酸雨。針對(duì)酸堿廢氣的特性，天得一利用酸堿中和、多級(jí)吸收和吸附、常溫催化氧化等工藝，深度凈化酸堿廢氣，確保排放達(dá)標(biāo)，為半導(dǎo)體生產(chǎn)營(yíng)造綠色環(huán)境。
CVD 廢氣治理：CVD 工藝在半導(dǎo)體制造中至關(guān)重要，但其產(chǎn)生的廢氣成分復(fù)雜、治理難度大。天得一采用高效真空泵抽取 CVD 廢氣，先經(jīng) Local Scrubber 凈化裝置初步處理，去除大顆粒污染物和部分有害成分，隨后進(jìn)入 Central Scrubber 深度治理。這里采用冷凝、燃燒、除塵、洗滌、吸收、吸附和靜電等多種凈化方式協(xié)同作業(yè)，確保 CVD 廢氣達(dá)標(biāo)排放，滿(mǎn)足半導(dǎo)體生產(chǎn)的環(huán)保需求。
有機(jī)廢氣治理：光刻、涂膠顯影等半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝會(huì)使用大量有機(jī)溶劑，產(chǎn)生以非甲烷總烴、苯系物、硅烷等揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）為主的有機(jī)廢氣。這些有機(jī)廢氣不僅具有揮發(fā)性，還可能有毒，天得一運(yùn)用吸附濃縮 + 催化燃燒技術(shù)，先通過(guò)吸附劑濃縮低濃度有機(jī)廢氣，再利用催化燃燒技術(shù)將其分解為二氧化碳和水，處理效率高達(dá) 98%。
含氟廢氣治理：在等離子蝕刻等特殊工藝中，會(huì)產(chǎn)生四氟化碳、六氟化硫等含氟廢氣。這類(lèi)氣體溫室效應(yīng)潛能值高，還會(huì)破壞臭氧層，治理難度大。天得一自主研發(fā)含氟廢氣處理工藝，結(jié)合化學(xué)沉淀和吸附技術(shù)，有效去除廢氣中的氟化物，降低對(duì)環(huán)境的影響。
半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展離不開(kāi)環(huán)保的支撐，高效治理工業(yè)廢氣是實(shí)現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展的關(guān)鍵。天得一將繼續(xù)秉持創(chuàng)新精神，不斷優(yōu)化和完善廢氣治理技術(shù)，為半導(dǎo)體行業(yè)以及更多工業(yè)領(lǐng)域提供優(yōu)質(zhì)、高效的環(huán)保服務(wù)，助力產(chǎn)業(yè)綠色發(fā)展，守護(hù)我們的藍(lán)天白云。
