方案概述
半導(dǎo)體制造領(lǐng)域涉及的廢氣種類繁多，核心涵蓋普通氣體排放、含毒性成分廢氣、有機(jī)揮發(fā)性化合物（VOCs）以及酸堿性廢氣。該行業(yè)廣泛運(yùn)用特種氣體、強(qiáng)酸強(qiáng)堿等化學(xué)品及大量有機(jī)溶劑與揮發(fā)性介質(zhì)，這些物質(zhì)在加工過(guò)程中不可避免地生成上述廢氣。同時(shí)，化學(xué)品存儲(chǔ)區(qū)（如固廢倉(cāng)庫(kù)）及特定作業(yè)環(huán)境亦成為廢氣污染的關(guān)鍵源。鑒于半導(dǎo)體行業(yè)的獨(dú)特性，天得一公司提供全面的污染物在線監(jiān)控體系方案，確保精準(zhǔn)、高效地監(jiān)測(cè)并管理各類廢氣排放。
方案內(nèi)容
方案特點(diǎn)
防爆設(shè)計(jì)
安全可靠
安全性高
斷電自啟
運(yùn)行穩(wěn)定
自動(dòng)校準(zhǔn)功能
在線監(jiān)測(cè)
數(shù)據(jù)精準(zhǔn)
維護(hù)成本低
氣相色譜法，壽命長(zhǎng)
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專屬咨詢顧問(wèn)
